上海表面处理技术及其发展趋势培训

课程概述 表面处理简介物理气象沉积（PVD）、化学气象沉积（CVD） 和等离子体辅助化学气相沉积（PECVD）真空溅镀技术缺陷和处理方案新技术及案例 培训对象 研发工程师、采购工程师、工艺工程师 课程收益 了解表面处理技术及其发展趋势 课程内容 一、表面处理简介 二、物理气象沉积（PVD）、化学气象沉积（CVD） 和等离子体辅助化学气相沉积（PECVD） 三、真空溅镀技术 四、缺陷和处理方案 五、新技术及案例 • 蒸发镀 a.电子枪蒸发；b.电阻丝蒸发 • 溅射镀 a.单体式；b.连续式；c.枚叶式。 • 离子镀 a.电弧离子镀；b.磁控离子镀；c.电弧+磁控离子镀